從精密加工發(fā)展到超精密加工，是世界各工業(yè)強國致力發(fā)展的方向。其精度從微米級到亞微米級，乃至納米級(

    當前，在機械加工高精度的要求下，普通級數控機床的加工精度已由±10μm提高到±5μm；精密級加工中心的加工精度則從±3~5μm，提高到±1~1.5μm，甚至更高；超精密加工精度進(jìn)入納米級(0.001微米)，主軸回轉精度要求達到0.01~0.05微米，加工圓度為0.1微米，加工表面粗糙度Ra=0.003微米等。這些機床一般都采用矢量控制的變頻驅動(dòng)電主軸(電機與主軸一體化)，主軸徑向跳動(dòng)小于2祄，軸向竄動(dòng)小于1祄，軸系不平衡度達到G0.4級。 　

　  高速高精加工機床的進(jìn)給驅動(dòng)，主要有“回轉伺服電機加精密高速滾珠絲杠”和“直線(xiàn)電機直接驅動(dòng)”兩種類(lèi)型。此外，新興的并聯(lián)機床也易于實(shí)現高速進(jìn)給。 　　

    滾珠絲杠由于工藝成熟，應用廣泛，不僅精度能達到較高(ISO3408 1級)，而且實(shí)現高速化的成本也相對較低，所以迄今仍為許多高速加工機床所采用。當前使用滾珠絲杠驅動(dòng)的高速加工機床最大移動(dòng)速度90m/min，加速度1.5g。 　　

    滾珠絲杠屬機械傳動(dòng)，在傳動(dòng)過(guò)程中不可避免存在彈性變形、摩擦和反向間隙，相應地造成運動(dòng)滯后和其它非線(xiàn)性誤差，為了排除這些誤差對加工精度的影響，1993年開(kāi)始在機床上應用直線(xiàn)電機直接驅動(dòng)，由于是沒(méi)有中間環(huán)節的“零傳動(dòng)”，不僅運動(dòng)慣量小、系統剛度大、響應快，可以達到很高的速度和加速度，而且其行程長(cháng)度理論上不受限制，定位精度在高精度位置反饋系統的作用下也易達到較高水平，是高速高精加工機床特別是中、大型機床較理想的驅動(dòng)方式。目前使用直線(xiàn)電機的高速高精加工機床最大快移速度已達208 m/min，加速度2g，并且還有發(fā)展余地。